CD 600
从封装、粘合、印刷前的电子电路表面清洁
到引线框架焊接前的焊接清洁
去除分子污染层
托盘系统
或绕线和引导系统(1至20米/分钟)
离子源(40khz, 13,56 MHz, 2,45 GHz)和匹配的网络
电极组的数量决定了等离子处理区
初级或次级等离子过程
通过PLC或PC进行控制和数据记录存储