兆声波喷嘴中的换能器产生兆声波，通过流动的液体(如双水)传输到基板表面。分子能量集中在一个2或4毫米的小点上。SONOSYS®兆声波喷嘴提供了新的频率:600 kHz / 1 MHz / 2 MHz / 3 MHz / 4 MHz和5 MHz。

    这种无槽兆声波喷嘴系统提供先进的非接触式清洗工艺。

    应用场景:

    用于单个晶片、掩模、液晶显示器、衬底和微电子机械系统(MEMS)的清洗，以及用于医疗设备和传感器的光学行业的600khz较大颗粒的清洗。