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VPO-300 真空工艺烘箱适用于最大 300 x 300 mm 基板尺寸和最高 1000 °C 的温度

灯加热快速热退火 RTA 和快速热处理 RTP 设备正在使用灯加热,以便快速升温和冷却半导体晶圆。因此,该设备主要用于需要仅在短时间内使基板达到一定温度的应用。高斜坡率允许较短的整体工艺时间并保持晶圆的低热预算(这是晶圆暴露在高温下的总时间)。由于加热器的设计,这些 RTA 和 RTP 工具主要用于单晶圆处理。晶圆必须一张一张地处理。这不像其他使用立式炉和卧式炉的间歇式热工艺那么重要,因为无论如何处理时间都很短。
VPO-300 是一款冷壁烤箱。



UniTemp RTP 炉提供独特的灯管布置,具有上下交叉灯阵列。温度分布工具提供出色且无与伦比的温度均匀性,从而实现过程可重复性。

应用:

非常适合最大 300 毫米的晶圆或 最大 300 x 300 毫米的基板。

通过室壁可以引导不同的馈通,如光学测量工具的窗口、热电偶馈通、气体入口等。
由于快速达到 10E -3 hPa 的真空,工艺周期非常短。

以下是最可行的应用程序:

还可能使用其他污染过程的过程以及 RTP/RTA 烤箱的所有其他应用都是强制性的,例如:

  • 退火工艺

  • 快速热处理

  • SiAu、SiAl、SiMo合金化

  • 低 k 电介质

  • 植入后退火

商会:

  • 腔体尺寸:350 x 350 x 50 mm

  • 装载区域:300 x 300 毫米

  • 腔室高度:50 mm(可选:腔室高度 100 mm,带观察窗 85mmx25mm)

  • 可选:扩展开口高度:200 mm 至 300 mm 

  • 室壁:铝抛光,易于清洁(可选:不锈钢)

正在加载:

  • 盖子垂直打开和关闭

  • 根据要求自动应用的直接或远程控制(SPS、机器人等)。

加热:

  • 底部加热:红外灯超过 21 kW

  • 上部加热:红外灯越过 21 kW(可选)

 冷却:

  • 室:气体 N2

过程控制:

  • 控制:带 7" 触摸屏的 SIMATIC SPS

  • 50 个程序,每个程序可存储 50 个步骤

工艺气体:

  • 1 个用于 5 nlm(=每分钟标准升)的质量流量控制器是标准配置

  • Optional: up to add. 3 gas lines (Nitrogen, Argon, Helium, Oxygen, optionally
    Hydrogen)

Vacuum (optional):

  • MP (Membrane pump

  • RVP (Rotary vane pump):  10E -3 hPa. Vacuum sensor up to 10E -3 hPa

  • other pumps on request

Connections:

  • Power 2 x (400/230V, 21 kW)

  • Vacuum connector: KF 16/25

  • Exhaust: KF16 rear site

  • Gas lines: Swagelok 6 mm compression fitting

  • Cooling water supply: 10 mm/12mm

  • Compressed dry air (CDA), 6 mm OD, 5 - 6 bar

Dimension/weight:

  • Dimension: 540 x 690 x 890 mm (w x d x h)

  • Weight:   about 140 kg
     

VPO-MFCMass Flow Controller (max. 3 pcs)
VPO-RVPRotary vane pump for vacuum up to 10exp.-3 with oil filter
VPO-SSChamber made of stainless steel instead of Alu (polished) 50 mm
VPO-H2Hydrogen module
VPO-GPGraphite Plate 3 mm thick
VPO-QPQuartz plate for separation of the top lamp area
VPO-QH石英通用支架,适用于 100 毫米至 300 毫米晶圆尺寸(星形)
VPO-TC在设备上测量的附加热电偶(插入腔室);对于外部测量工具最大。4个
WC-III闭环水冷系统
真空我们提供不同的真空泵和真空设备
VPO-SIVPO 系统和外部 PC 之间的串行接口使用 USB 2.0 端口并通过 USB 2.0 电缆
VPO-RC远程控制顶盖和关闭,包括与外部机柜的安全连接