换能器板集成在与石英玻璃处理槽相连的外部槽的两个侧壁中。兆声波声波通过传输介质（去离子水）间接传输到处理罐中。
每个换能器板上的换能器阵列分为4个部分。每个部分的工作功率为500瓦，频率为1 MHz。一块传感器板的所有压电陶瓷通过2000瓦的总功率同时被激活。
发生器的HF功率以8秒的时间斜坡编程，以驱动右侧壁的完整换能器阵列，然后驱动左侧壁的完整换能器阵列。

SONOSYS兆声波系统的特点是非常紧凑的设计和优化的液体流。

应用：
兆声波系统是专门为湿法工艺系统而开发的，用于生产半导体晶片。

特别适用于温度从20°C到最高温度的SC1清洁过程和“最终冲洗”应用。75℃，用于50片300毫米晶圆清洗制程。