Astro 96 是一款全自动料条微波等离子清洗系统。它设计用于大批量的料条等离子清洗。Astro 96 有一个强健的装载机和卸载机，可实现零卡料来操作敏感基材。使用该款微波等离子清洗机，可以用来提高打线键合、倒装填充和塑封的工艺品质。也可用于芯片的先进封装制造。

    主要参数：

    工艺腔体：铝

    微波离子源：2.45Ghz，双功率源，功率50~600瓦可调，风冷

    设备尺寸：W1635 x H2265(with light tower) x D1405 (mm)

    腔体尺寸：W330 x H120 x D420 (mm)

    体积：16.6L

    装载：

                全自动带力量检测机械抓手；

                物料进/出：物料同料盒/槽位进，同料盒/槽位出（标准模式）；

                                  物料不同料盒不同槽位进出（可选）；

                物料防撞系统：带检测和可调推力设计，避免撞料；